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SIMCO-ion思美高離子風(fēng)棒5635安裝位置
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特征
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單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有****的應(yīng)用記錄，可避免電極材料污染金屬以及超低顆粒特性的風(fēng)險(xiǎn)。
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高靜電消除性能，可通過(guò)原始MP（脈沖調(diào)制）方法有效地將離子傳輸?shù)侥繕?biāo)
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很小的潛在擺動(dòng)特性，即使在100 mm的距離上也可以使用，并且離子平衡，在棒的長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差
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智能控制電路不斷自動(dòng)管理離子產(chǎn)生狀態(tài)和離子平衡
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可以在1/4圈上拆裝的可更換電極有助于減少維護(hù)人力
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MP方法的電位擺幅非常小，簡(jiǎn)化了設(shè)置過(guò)程，并且較小的電位擺幅有效地將長(zhǎng)期離子平衡保持在控制標(biāo)準(zhǔn)之內(nèi)。
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設(shè)置一條長(zhǎng)度適合EFEM的長(zhǎng)度以進(jìn)行半導(dǎo)體前處理
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內(nèi)置24V DC驅(qū)動(dòng)器控制器的緊湊型設(shè)計(jì)
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遍布全球的上等支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)范
5635型AeroBar MP
| 輸入電壓 | 24V DC +/- 10％ |
|---|---|
| 輸出電壓 | 高達(dá)13.5kv pp可調(diào) |
| 安裝距離 | 100mm-1000mm（不吹氣） |
| 離子產(chǎn)生方法 |
電暈放電法 MP（脈沖調(diào)制）法調(diào)制頻率1-33 Hz |
| 離子平衡 |
自動(dòng)平衡調(diào)整方法 <+/- 10V，由于位置<+/- 10v （600毫米距離）而引起的內(nèi)桿差異 |
| 電極 | 單晶硅電極可更換 |
| 吹掃氣體 | 清潔干燥的空氣或氮?dú)? |
| Z大吹掃壓力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小時(shí)累計(jì)值） |
| 信號(hào)輸出 | 警報(bào)IO集電極開(kāi)路輸出 |
| 尺寸 | 高度78毫米x深度34毫米x長(zhǎng)度低于 |
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450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750年/二千○五十○分之一千九百/ 2200 /2350毫米 |
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| 外觀 | ABS樹(shù)脂 |
什么是擴(kuò)展ISO 1,10nm級(jí)？
關(guān)于擴(kuò)展的ISO Class 1,10nm？ION Systems自己對(duì)清潔度的定義，以支持微粒管理。ISO14644-1的Z小粒徑定義為100 nm。擴(kuò)展ISO 1,10nm級(jí)別使用與ISO14644-1相同的公式來(lái)計(jì)算允許的顆粒數(shù)量，并且允許的顆粒數(shù)量為1200pc / m3（34pc / ft3），且顆粒大小為10nm或更大。