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主營進口氣動工具（油壓脈沖扳手，風(fēng)批，控制器）；電動工具（電動螺絲刀，扭力測試儀）；環(huán)境設(shè)備（集塵機，鼓風(fēng)機，吸塵器）；自動化控制器材（氣管，接頭，繼電器，傳感器，導(dǎo)軌，滑軌等）；防靜電產(chǎn)品（靜電測試儀，離子風(fēng)機，離子風(fēng)棒）；物流搬運設(shè)備（堆高機，拖板車，叉車）等產(chǎn)品的銷售
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TORAY氧氣分析儀MS-500半導(dǎo)體/液晶/電子零件等氧氣計
日期：2025-08-27 07:56
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摘要：TORAY氧氣分析儀MS-500半導(dǎo)體/液晶/電子零件等氧氣計15188323887
TORAY氧氣分析儀MS-500半導(dǎo)體/液晶/電子零件等氧氣計
酸素濃度計 MS-500
*大8ポイントを同時測定が可能
半導(dǎo)體製造裝置、真空裝置等への搭載に*適
センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上
MS-500 機器仕様
測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形狀 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm
自動レンジ
繰返性 ±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上
±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外
測定點數(shù) 1～8
サンプルガス條件 圧力 10-3～200KPa（絶対圧）
流量 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)
濕度 露點が周囲溫度以下
溫度 0～100℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計出力 伝送出力のみ
伝送出力 RS-232C
警報出力 なし
15188323887
ウォームアップ時間 6分以內(nèi)
寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニット SD16NW 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
SD25NW 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
SD40NW 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質(zhì)量 MS-500(コントローラ) 約0.6Kg
MS-510(変換器) 約0.5kｇ
センサユニット SD16NW 約0.2Kg
SD25NW 約0.2Kg
SD40NW 約0.35Kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源 24VDC±10%
酸素濃度計 MS-500
TORAY氧氣分析儀MS-500半導(dǎo)體/
液晶/電子零件等氧氣計15188323887
*大8ポイントを同時測定が可能
15188323887
ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出來ます。半導(dǎo)體製造裝置、真空裝置等への搭載に*適
センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上
MS-500 機器仕様
測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形狀 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm
自動レンジ
繰返性 ±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上
±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外
測定點數(shù) 1～8
サンプルガス條件 圧力 10-3～200KPa（絶対圧）
流量 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)
濕度 露點が周囲溫度以下
溫度 0～100℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計出力 伝送出力のみ
伝送出力 RS-232C
警報出力 なし
15188323887
ウォームアップ時間 6分以內(nèi)
寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニット SD16NW 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
SD25NW 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
SD40NW 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質(zhì)量 MS-500(コントローラ) 約0.6Kg
MS-510(変換器) 約0.5kｇ
センサユニット SD16NW 約0.2Kg
SD25NW 約0.2Kg
SD40NW 約0.35Kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源 24VDC±10%